1) Al Kα/Mg Kα双阳极XPS,功率:450W;分析区域:2000×800µm、700×300µm、110µm、55µm、27µm、15µm共六档。
2) Al Kα单色化XPS,功率:600W;分析区域:700×300µm、110µm、55µm、27µm、15µm共五档;能量分辨(Ag3d5/2):0.48eV@400kcps。
3) 离子散射谱(ISS)。能量分辨:12eV(Au峰FWHM);灵敏度:≥12kcps/nA(Au峰)。
4) 紫外光电子能谱(UPS),能量分辨:Ag费米边(20%~80%)优于100meV;灵敏度:Ag4d峰优于1Mcps。
5) 俄歇电子能谱(AES),电子枪:Schottky场发射;电子能量:最大10keV可调;AES灵敏度:10kV@5nA(FRR=0.4%)时Cu样品LMM峰(918eV)强度优于500,000cps,与955eV处背景相比,信噪比优于500:1。
6) Ar/C24H12双模式离子枪。
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