仪器名称
超深紫外光刻系统
型 号
MA6
仪器编号
仪器来源
购置
生产厂商
德国SUSS公司
启用日期
仪器类别
器件微加工仪器
仪器原值
所在单位部门
中国科学院化学研究所-分子器件研究平台
仪器负责人
狄重安、孟青
联系电话
010-62552061
地 址
北京市海淀区中关村北一街2号
邮 编
100190
E-mail
rpmdic@iccas.ac.cn
主要技术指标
衬底面积：150´l50 mm2
最大运行距离：X方向为300 mm,Y方向为200mm,Z方向为40 mm.
最大运行速度：X,Y方向为100 mm/s，Z方向为10 mm/s
定位精度：±15 μm
重复定位精度：±5 μm
包含主要附件
仪器主要功能
利用光刻胶，将掩模板上的微观结构或图形进行复制转移
仪器服务领域
有机光电材料器件等
计量认证资质
否
实验室认可
仪器现状
正常
收费标准
800元/2小时（最小单次机时为2小时）
仪器图片
