仪器名称
场效应性能综合制备与表征系统
型 号
MBRAUN
仪器编号
20111861
仪器来源
购置
生产厂商
美国MicroFab公司
启用日期
2011-12-1
仪器类别
有机光电器件微加工
仪器原值
3278419.69
所在单位部门
中国科学院化学研究所-分子器件研究平台
仪器负责人
狄重安、孟青
联系电话
010-62552061
地 址
北京市海淀区中关村北一街2号
邮 编
100190
E-mail
rpmdic@iccas.ac.cn
主要技术指标
系统组成：臭氧清洗机、甩膜机、真空蒸镀机、探针台、半导体参数测试仪
器件制备环境：氮气氛围
水、氧含量：≤ 1 ppm
包含主要附件
仪器主要功能
系统集成了基片前处理、真空沉积、溶液成膜和微电流测试系统，为有机电子器件制备与综合分析提供平台。
仪器服务领域
有机光电材料器件
计量认证资质
否
实验室认可
仪器现状
正常
收费标准
UVO：200元/0.5小时 甩膜仪：200元/0.5小时 热台：200元/0.5小时
烘箱：400元/3小时 金属蒸镀：600元/1.5小时 有机蒸镀：600元/2小时
电性能测试：400元/小时（时间单位均为最小单次机时）
仪器图片
