仪器名称
离子溅射仪
型 号
SCD500
仪器编号
20070050
仪器来源
购置
生产厂商
瑞士Bal-Tec
启用日期
2007/1/31
仪器类别
制样设备
仪器原值
247,570.82
所在单位部门
中国科学院化学研究所-高分子化学与物理实验室
仪器负责人
周勇
联系电话
010-82618533
地 址
北京市海淀区中关村北一街2号
邮 编
100190
E-mail
yzhou@iccas.ac.cn
主要技术指标
1.镀膜均匀，颗粒细小，镀膜时的真空度可达到5x10-5mbar。
2.紧凑的台式结构，隔膜泵、涡轮
泵与整机集成一体.
3.最大溅射电流150mA。
4.多种靶材（铬、钨、铂等）。
5.真空室内径108mm,工作距离32-102mm。
包含主要附件
喷碳功能
仪器主要功能
样品表面蒸镀导电层，增加非金属样品表面导电性
仪器服务领域
扫描电镜样品表面导电层蒸镀，特殊表面处理
计量认证资质
否
实验室认可
仪器现状
正常
收费标准
50元/样
仪器图片
